Eng Vakuumbeschichtungsmaschinn ass en Apparat dat Metalldënnfilmer op d'Uewerfläch vun engem Substrat deposéiert. Säin Basisfunktiounsprinzip ass an dräi Schrëtt opgedeelt: Botzen, Verdampfung an Oflagerung.
1. Botzen
Virun der Verdampfungsdepositioun muss d'Verdampfungskammer gebotzt ginn. Well et Oxiden, Fett, Stëbs an aner Substanzen op der Uewerfläch vun der Verdampfungskammer befestegt kënne ginn, beaflossen dës d'Qualitéit vum Film. Botzen benotzt normalerweis chemesch oder kierperlech Methoden.
2. Verdampfung
Dat gewënschte Material gëtt iwwer säi Schmelzpunkt erhëtzt sou datt et Gasmoleküle bildt. D'Gasmoleküle ginn dann an der Vakuumkammer an d'Verdampfungskammer entkomm. Dëse Prozess gëtt Verdampfung genannt. D'Temperatur, den Drock an d'Verdampfungsquote beaflossen d'Zesummesetzung, d'Struktur an d'Eegeschafte vum Film.
3. Depositioun
D'gasmoleküle vum Material an der Verdampfungskammer kommen an d'Reaktiounskammer duerch d'Vakuumpipe, reagéiere mat dem aktive Material, an dann de Produit op d'Uewerfläch vum Substrat deposéieren. Dëse Prozess gëtt Sedimentatioun genannt. D'Temperatur, den Drock an d'Taux vun der Oflagerung beaflossen och d'Qualitéit an d'Leeschtung vum Film.
2. Applikatioun
Vakuumbeschichtungsmaschinne gi wäit an der Materialwëssenschaft, Optik, Elektronik an aner Felder benotzt.
1. Material Wëssenschaft
Vakuumbeschichtungsmaschinne kënnen dënn Filmer vu verschiddene Metaller, Legierungen, Oxiden, Silikaten an aner Materialien virbereeden, a gi wäit an Beschichtungen, optesch Filmer, optesch Lagerung, Displays, Transistoren an aner Felder benotzt.
2. Optik
D'Vakuumbeschichtungsmaschinn kann Metall- a Legierungsfilmer mat héijer Reflexivitéit an optesch Filmer mat spezielle Funktiounen virbereeden. Dës Filmer kënnen an Solarpanneauen, High-Performance Elektronenmikroskopen, Aerogels, UV / IR Sensoren, optesch Filteren an aner Felder benotzt ginn.
3. Elektronik
Vakuumbeschichtungsmaschinne kënnen nanoskala elektronesch Materialien a mikroelektronesch Geräter virbereeden. Dës Filmer kënnen an Nanotransistoren, magnetesche Erënnerungen, Sensoren an aner Felder benotzt ginn.
Kuerz gesot, d'Vakuumbeschichtungsmaschinn kann net nëmme verschidde Dënnfilmmaterialien virbereeden, awer och dënn Filmer mat spezielle Funktiounen virbereeden wéi néideg. An Zukunft wäert Vakuumbeschichtungstechnologie méi wäit benotzt a gefördert ginn.
Post Zäit: Mar-12-2024